Die ultrasoniese snelheid in gas word beïnvloed deur die gastemperatuur, dus die vlakmeter moet die gastemperatuur by die werk opspoor. Die materiaalvlakmeter moet dus die gastemperatuur by die werk opspoor, kompensasie vir klanksnelheid.
Die sensor van die meter pols in die rigting van die produkoppervlak. Daar word hulle teruggekaats en deur die sensor ontvang.